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 掃描電子顯微鏡觀測電疇是通過對樣品表面預先進行化學腐蝕來實現的，由于不同極性的疇被腐蝕的程度不一樣，利用腐蝕劑可在鐵電體表面形成凹凸不平的區域從而可在顯微鏡中進行觀察。因此，可以將樣品表面預先進行化學腐蝕后，利用掃描電子顯微鏡圖像中的黑白襯度來判斷不同取向的電疇結構。

由于掃描電子顯微鏡可用多種物理信號對樣品進行綜合分析，并具有可以直接觀察較大試樣、放大倍數范圍寬和景深大等特點，當陶瓷材料處于不同的外部條件和化學環境時，掃描電子顯微鏡在其微觀結構分析研究方面同樣顯示出極大的優勢。

掃描電子顯微鏡主要表現為：

⑴力學加載下的微觀動態 （裂紋擴展）研究 ；

⑵加熱條件下的晶體合成、氣化、聚合反應等研究 ；

⑶晶體生長機理、生長臺階、缺陷與位錯的研究；

⑷成分的非均勻性、殼芯結構、包裹結構的研究；

    ⑸晶粒相成分在化學環境下差異性的研究等。